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一种纳米陶瓷太阳膜制造技术
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下载一种纳米陶瓷太阳膜的技术资料
文档序号:8126647
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本发明涉及一种纳米陶瓷太阳膜,在基材PET的一面上依次磁控溅射镀制第一层二氧化钛膜、第二层氮化钛膜和第三层二氧化钛膜。基材PET的厚度为23~50μm。第一层二氧化钛膜的厚度为26nm~38nm。第二层氮化钛膜的厚度为20nm~26nm。第...
该专利属于核工业西南物理研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。
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