下载一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法的技术资料

文档序号:8126556

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法,有如下步骤:在蓝宝石基片预先涂覆一层的水溶性覆层;在开始用绿激光切割前设定绿激光光束入射角度、焦点位置,设定同轴和侧向施加辅助气体喷嘴位置及施加辅助气体的压力;采用绿激光按一预定扫描速度和扫描次数...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。