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激光照射装置及激光照射方法制造方法及图纸
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文档序号:8126314
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本发明提供激光照射装置及激光照射方法,不会导致与被加工对象物内表面产生干涉的可能性增大,保持与被加工对象部之间的距离恒定的同时实施激光加工。本发明的激光照射装置具备:激光传输机构,将激光从激光光源导出并从激光射出部射出;聚光机构,将激光聚光...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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