下载一种超结纵向双扩散金属氧化物半导体管的技术资料

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一种超结纵向双扩散金属氧化物半导体管,包括:兼做漏区的N型重掺杂硅衬底,在N型重掺杂硅衬底的下表面设置有漏极金属,在N型重掺杂硅衬底的上表面设有N型掺杂硅外延层,在N型掺杂硅外延层内设有间断不连续的P型掺杂柱状半导体区,在P型掺杂柱状半导体...
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