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本实用新型提供发光二极管晶圆吸附平台，供配合一真空产生装置使用，真空产生装置具有一吸气面，吸气面具有提供负压的多个吸气孔，而用于吸附固定发光二极管晶圆，本实用新型包含多孔性吸附隔垫与气密式固定盘，其中多孔性吸附隔垫具有一吸附面与一抽气面，且...
该专利属于正恩科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过正恩科技有限公司授权不得商用。

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