下载一种石英晶体微天平传感器的技术资料

文档序号:8121438

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本实用新型提供了一种石英晶体微天平传感器,该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2),所述镀钛膜层(2)表面是贵金属镀膜层(3),形成一种钛基金属膜石英晶体微天平传感器。本实用新型的效果和益处在于所述石英晶体...
该专利属于长沙理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长沙理工大学授权不得商用。

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