一种石英晶体微天平传感器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是贵金属镀膜层(3)，形成一种钛基金属膜石英晶体微天平传感器。本实用新型专利技术的效果和益处在于所述石英晶体微天平传感器具有制作简单、使用方便、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点，优于传统的石英晶体微天平传感器。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传感检测
，涉及ー种石英晶体微天平传感器。
技术介绍
石英晶体微天平(Quartz crystal microbalance, QCM)是一种新型传感测量技术，它是利用石英晶体谐振频率的变化与晶体电极表面沉积的物质质量之间成正比例关系，可检测电极表面ng甚至pg级的质量变化及溶液的粘度、密度、阻抗、介电常数等參数的变化，因具有灵敏度高、响应快速、操作简便和价格低廉的特点而广泛应用于大气污染物、生物分子等物质的检测。石英晶体微天平传感器的核心部件是石英晶体片上金属电极的安装使用，目前较 通用的电极材料有金、银、铝，因石英晶体片光滑、附着力小，安装时通常在电极材料与石英晶体片之间先加镀ー层金属铬，以增强电极材料在石英晶体片上的附着力，因此，加镀的金属铬层对石英晶体微天平传感器的制作具有十分重要的作用。然而，金属铬镀层在碱、硫化物、硝酸和大多数有机酸中具有好的化学稳定性，但能溶于氢卤酸(如盐酸)和热的硫酸中，使其应用受到限制；金属钛则具有这方面的优越性，因为钛是一种高强度、低质量的金属，具有优良的抗腐蚀能力一几乎与钼ー样好。
技术实现思路
本技术的目的在于提供ー种石英晶体微天本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(1)，所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是贵金属镀膜层(3)，形成一种钛基金属膜石英晶体微天平传感器。

【技术特征摘要】
1.一种石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片(I)，所述石英晶体片(I)表面是镀钛膜层(2)，所述镀钛膜层(2)表面是贵金属镀膜层(3)，形成一种钛基金属膜石英晶体微天平传感器。2.根据权利要求I所述的石英晶体微天平传感器，其特征在于所述镀钛膜层(2)厚度为I 50 nm。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙姝，曹忠，周婷，徐雷涛，江小玲，张赛辉，
申请(专利权)人：长沙理工大学，
类型：实用新型
国别省市：