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本实用新型公开一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压力调节阀（1）、连接管路（2）及风刀（3），所述风刀（3）为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路（2）的两端分别和气源（4）及所述风刀（3）下底面的进气...
该专利属于中节能太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中节能太阳能科技有限公司授权不得商用。

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