【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶体硅太阳能电池PECVD工序板式镀膜设备，具体涉及一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置。
技术介绍
太阳能作为一种清洁、可再生的能源，对它的利用一直被人们所关注。晶体硅太阳电池作为目前太阳能电池的主流，如何降低太阳能电池的成本，提高效率成为国内外晶体硅太阳能电池研究的重点。在生产晶体硅太阳能电池的过程中， 硅片在镀膜后叠放时镀膜面存在着容易被氮化硅粉尘玷污，导致镀膜面氮化硅粉尘难以清除的问题，不便于后序操作，增加了人力成本。
技术实现思路
技术目的本技术的目的是为了更好的解决镀膜后硅片叠放时镀膜面容易被粉尘玷污的问题，提供一种方便快捷的吹扫系统，便于后序操作，节约人力成本。技术方案本技术所述的一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，包括压力调节阀、连接管路及风刀，所述风刀为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路的两端分别和气源及风刀下底面的进气口连接，所述压力调节阀设置在所述连接管路上，所述风刀的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀上底面的宽度与大于或等于待吹扫石墨载板的宽度。进一步，所述风刀上底面的气孔分为三排，各排均匀排布，气孔直径为O. 1cm，气孔间隔为O. 3cm。进一步，所述风刀的长度与待吹扫石墨载板的长度相等。进一步，所述风刀的材质为聚四氟乙烯。为了保证了气体在传输过程不受到任何污染，所述连接管路为二分之一英寸不锈钢管。本装置在不改变原有设备和工艺的前提下，在设备出料腔后安装风刀，上述的风刀采用压缩空气做气源，直接放置于工艺腔尾部，待吹扫石墨载板出口正上方，气孔吹扫方向与待吹扫石墨载板成45°夹角。...
【技术保护点】
一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压力调节阀（1）、连接管路（2）及风刀（3），所述风刀（3）为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路（2）的两端分别和气源（4）及所述风刀（3）下底面的进气口连接，所述压力调节阀（1）设置在所述连接管路（2）上，所述风刀（3）的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀（3）上底面的宽度大于或等于待吹扫石墨载板的宽度。
【技术特征摘要】
1.一种晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，包括压カ调节阀(I)、连接管路(2)及风刀(3)，所述风刀(3)为中空结构，且截面为梯形，所述连接管路(2)的两端分别和气源(4)及所述风刀(3)下底面的进气ロ连接，所述压カ调节阀(I)设置在所述连接管路(2)上，所述风刀(3)的上底面均匀设置有若干吹扫气孔，所述风刀(3)上底面的宽度大于或等于待吹扫石墨载板的宽度。2.根据权利要求I所述的晶体硅太阳能电池的板式PECVD镀膜的在线吹扫装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊涛，勾宪芳，姜利凯，王鹏，曹华斌，宋爱珍，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。