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本实用新型是有关于一种具高功率脉冲电源供应器的磁控溅镀机，其至少包括：一真空腔体及至少一磁控溅镀枪。真空腔体为一拱形真空腔体，而磁控溅镀枪设置于真空腔体的至少一侧，并且磁控溅镀枪的电源输入端电性连接于高功率脉冲电源供应器。借由本实用新型的实...
该专利属于富优技研股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过富优技研股份有限公司授权不得商用。

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