下载一种万向气体支撑机构的技术资料

文档序号:8116917

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本实用新型公开了一种新型万向气体支撑机构,包括:基板,内部加工有通气管道。基板上规则排布有万向气体支撑柱阵列;所述万向气体支撑柱包括:球体;上部设有与外部连通的球冠腔室且内部设有贯通通孔同时下部与基板通气管道联接的柱体,所述球体置于所述球冠...
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