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一种力量监控装置，包含：一第一板体，其具有相对的一第一接触面及一第二接触面，该第一接触面系接触于该晶棒之一表面；一设置于该第二接触面上之第二板体，该第二板体具有一接触于该第二接触面之第三接触面；一感测模块，其包括至少两个感测组件，该至少两个...
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