下载锡焊装置和盖体支承密闭结构的技术资料

文档序号:8109692

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本发明提供锡焊装置和盖体支承密闭结构。其目的在于研究将盖体支承于预热、冷却等的处理容器的支承机构及密闭机构,使得能够将盖体自由滑动地支承在该处理容器上且能够气密性良好地密闭该处理容器。如图2所示,锡焊装置具有利用多个盖体(32)使在上部具有...
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