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基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:8109686
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基板处理装置,具备:基板供应部,在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板;基板处理部,具有搬送部及多个处理部,该搬送部,将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送,该多个处理部,是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置,对竖立状态的基板...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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