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本发明提供了一种用于晶片清洁设备的盒夹具，包括：夹具本体，具有被设计成在内部接收第一晶片的内部空间；以及引导构件，安装在夹具本体中并且操作性地引导待安装在夹具本体中的盒，盒具有被设计成在内部接收具有比第一晶片相对小的直径的第二晶片的内部空间...
该专利属于LG矽得荣株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过LG矽得荣株式会社授权不得商用。

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