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半导体芯片接合用粘接材料、半导体芯片接合用粘接膜、半导体装置的制造方法及半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:8109404
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本发明的目的在于提供可控制圆角形状不成为凸状且可制造可靠性高的半导体装置的半导体芯片接合用粘接材料。本发明为一种半导体芯片接合用粘接材料,其中,用粘弹性测定装置测得的25℃剪切弹性模量Gr为1×106Pa以上,用流变仪测得的直到软纤料熔点为...
该专利属于积水化学工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。
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