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一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其包含(P)具有由下式(1)表示的重复单元的树脂；一种使用所述组合物的光阻膜；以及一种图案形成方法。...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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