下载观察光学系统及激光加工设备的技术资料

文档序号:8109256

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良好地对对象物的定位用标记和浓淡图案的两者进行观察。从照明装置(117)的光源发出的照明光,透过聚光透镜(118),被半透半反镜(120)反射,透过分色镜(115),在物镜(116)的光瞳中成像后,通过物镜(116)照射到太阳能电池板(10...
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