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观察光学系统及激光加工设备技术方案
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文档序号:8109256
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良好地对对象物的定位用标记和浓淡图案的两者进行观察。从照明装置(117)的光源发出的照明光,透过聚光透镜(118),被半透半反镜(120)反射,透过分色镜(115),在物镜(116)的光瞳中成像后,通过物镜(116)照射到太阳能电池板(10...
该专利属于欧姆龙株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。
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