观察光学系统及激光加工设备技术方案

良好地对对象物的定位用标记和浓淡图案的两者进行观察。从照明装置(117)的光源发出的照明光，透过聚光透镜(118)，被半透半反镜(120)反射，透过分色镜(115)，在物镜(116)的光瞳中成像后，通过物镜(116)照射到太阳能电池板(102)。从太阳能电池板(102)反射的反射光，透过物镜(116)、分色镜(115)、半透半反镜(120)，利用成像透镜(121)成像。在将照明光的波长设为λ、将太阳能电池板(102)的对准标记的线宽设为w的情况下，遮光体(119)将入射到物镜(116)的大致小于2λ/w的数值孔径范围内的照明光遮断。本发明专利技术例如适用于激光加工设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及观察光学系统及激光加工设备，特别涉及能够良好地观察对象物的定位用的标记和浓淡图案的观察光学系统及激光加工设备。
技术介绍
以往，使用明视场光学系统，作为在观察设置于基板等对象物的定位用的对准标记时使用的观察光学系统。但是，如果是以往的明视场光学系统，有时来自对象物的反射光中包含的对准标记的信号光与其他的噪声光相比小，只能以较低的对比度观察对准标记。因此，有时使用能够以高对比度观察对准标记的暗视场光学系统(例如，參照专利文献I)。专利文献I :日本特开平8-306609号公报但是，如果是以往的暗视场光学系统，例如，光滑的平面等不产生对象物的散射光的区域(以下，称为非散射区域)成为漆黑，而无法观察该区域的浓淡图案。因此，为了观察非散射区域的浓淡图案，必须将所使用的光学系统从暗视场光学系统切换为明视场光学系统。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这种情况而完成的，能够良好地观察对象物的对准标记和浓淡图案的两者。本专利技术的第I方面的观察光学系统，是用于观察对象物的定位用标记的观察光学系统，包括物镜；使从光源发出的照明光在所述物镜的光瞳内成像的聚光透镜；使来自通过所述物镜被照射了所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.14 JP 2010-2051461.一种观察光学系统，用于观察对象物的定位用标记，其特征在于， 包括 物镜； 使从光源发出的照明光在所述物镜的光瞳内成像的聚光透镜； 使来自通过所述物镜被照射了所述照明光的所述对象物的反射光、即透过所述物镜后的反射光成像的成像透镜； 在所述聚光透镜和所述物镜之间且所述物镜和所述成像透镜之间，将所述照明光和所述反射光的光路进行分支的分支单元； 在将所述照明光的波长设为λ、将所述定位用标记的最窄部分的宽度设为W的情况下，设置在所述聚光透镜和所述分支单元之间的、将入射到所述物镜的大致小于2 λ /w的数值孔径范围内的所述照明光遮断的遮光单元，和设置在所述分支单元和所述物镜之间的、将入射到所述物镜的大致小于2 λ /w的数值孔径范围内的所述反射光遮断的遮光单元中的至少一方。2.根据权利要求I所述的观察光学系统，其特征在于， 所述遮光单元具有与所述照明光的截面大致相同形状的遮光区域。3.根据权利要求I所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：长野强，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：
国别省市：