下载光学位移传感器的调整方法及光学位移传感器的制造方法的技术资料

文档序号:8109189

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在具有规定的光学系统的光学位移传感器(10)中,调整规定的光学系统使得满足交线条件。规定的光学系统具有:投光模块(9),其用于将光照射至测定对象物(16);受光元件(13),其用于接收来自投光模块(9)的光被测定对象物(16)反射的反射光;...
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