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本发明提供一种位移测量方法和位移测量装置，不受光学元件倾斜精度的影响，构成简单且能小型化，受到衍射光栅的平面方向的位置偏移的影响较小，进行光学分辨率调整的位移测量。利用准直透镜(14)将来自激光光源(12)的激光(13)变成平行光15，使平...
该专利属于太阳诱电株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过太阳诱电株式会社授权不得商用。

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