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本发明提供了一种用于生产光伏电池的沉积方法和系统。该方法包括在半导体材料沉积的至少一部分期间在反应室内保持负压。将第一和第二电极分离的距离D用mm来表示，并且大于或等于约10mm但小于或等于约30mm。在半导体材料沉积的至少一部分期间建立按...
该专利属于欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康太阳能股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。

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