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一种在基板表面沉积层的方法，该方法包括：将来自前体供应部的前体气体喷入沉积腔以接触基板表面，将部分喷入的前体气体从沉积腔中排出，并沿着基板表面的平面使沉积腔和基板彼此相对定位；该方法进一步包括：提供第一电极和第二电极，使第一电极与基板彼此相...该专利属于荷兰应用自然科学研究组织TNO;视觉动力控股有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荷兰应用自然科学研究组织TNO;视觉动力控股有限公司授权不得商用。