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本发明涉及一种工件传送方法及传送装置，其特征在于，具备供应多个工件给料机构1、设有收纳工件用的齿槽的分送齿盘6、具有工件给料机构与分送齿盘间的连通通路的分离机构2。工件给料机构1把工件一个个依序送至分离机构2，位于分离机构2最前端的工件受到...
该专利属于深圳市华腾半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华腾半导体设备有限公司授权不得商用。

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