下载快恢复二极管制造方法的技术资料

文档序号:8106711

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本发明实施例公开了一种快恢复二极管制造方法,该方法包括:提供一N+衬底和一N-衬底;在所述N+衬底的正面外延一N型层作为FS层;使所述FS层的表面与N-衬底的一个表面通过键合的方式连接起来;对所述N-衬底进行减薄,并在减薄后的N-衬底的表面...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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