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用于受控层传送的方法技术
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文档序号:8106705
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本发明涉及受控层传送的方法。该方法包括向基底基板提供应激层。应激层具有位于基底基板的上表面上面的应激层部分和位于与基底基板的各侧壁边缘相邻的自钉扎应激层部分。然后,在基底基板的应激层部分上面施加散裂抑制体,然后,从应激层部分去耦合应激层的自...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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