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一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:8104906
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本发明公开了航天航空电子元器件的制备技术领域的一种模拟航天航空环境电子器件失效的装置及方法。该装置的真空腔室具有样品台法兰接口、气氛法兰接口及紫外法兰接口三个法兰接口,并设有真空预抽通道;样品台位于真空腔室内,与外部的加热变压器和温度控制仪...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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