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本发明公开了一种多层膜系统光能分布测量方法，采用光谱椭偏仪和台阶仪分别测量基底及各层膜的折射率、消光系数以及各层膜的厚度，然后构建虚拟的多层膜系统，分别通过等效界面方法计算各个界面上、下的光能分布情况，从而通过比较各个界面和各层膜上、下的光...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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