下载石墨烯生产方法和连续式生产装置的技术资料

文档序号:8102904

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出了一种在真空反应腔体内设置加热器件,对石墨烯生长基底采用局部加热的方法取代传统化学气相沉积法对整个反应腔体进行加热的方法,并设计了以此方法为基础的石墨烯连续式生产装置,将传动系统、基底退火系统、石墨烯化学气相沉积系统、石墨烯快速降...
该专利属于许子寒所有,仅供学习研究参考,未经过许子寒授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。