下载一种含介电层的半导体原件的切割方法的技术资料

文档序号:8100411

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本发明提供一种含介电层的半导体原件的切割方法,本发明先在半导体衬底上制作多个半导体单元,然后于所述半导体衬底背面制作对532nm激光透过率大于30%的介电层,然后依据各该半导体单元对所述半导体衬底进行隐形切割,最后裂片以完成切割。本发明通过...
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