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一种含介电层的半导体原件的切割方法技术
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文档序号:8100411
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本发明提供一种含介电层的半导体原件的切割方法,本发明先在半导体衬底上制作多个半导体单元,然后于所述半导体衬底背面制作对532nm激光透过率大于30%的介电层,然后依据各该半导体单元对所述半导体衬底进行隐形切割,最后裂片以完成切割。本发明通过...
该专利属于合肥彩虹蓝光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥彩虹蓝光科技有限公司授权不得商用。
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