下载多弧离子镀膜机的电弧靶结构的技术资料

文档序号:8090147

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本实用新型涉及离子镀膜设备技术领域,尤其是涉及多弧离子镀膜机的电弧靶结构,包括有靶材、引弧针,靶材为圆柱靶,靶材外周组设有可调屏蔽罩,可调屏蔽罩上设有外螺纹,所述引弧针安装在一活动轴上,引弧针的针尖设置在靶材的前端方向;靶材通过可调屏蔽罩上...
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