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半导体发光器件制造技术
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文档序号:8082303
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为了提高光提取效率,公开了一种半导体发光器件,其中,每层由III族氮化物基化合物半导体形成。发光器件包括:蓝宝石衬底(10),在该蓝宝石衬底(10)的表面上平行于第一方向(x轴)布置多个条状沟槽(11);在所述蓝宝石衬底的表面(10a)上和...
该专利属于丰田合成株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丰田合成株式会社授权不得商用。
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