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本发明涉及通过低压等离子体工艺施加的保形纳米涂层。本发明还涉及在三维结构、特别是包含导电和非导电元件的三维结构上形成这样的保形纳米涂层的方法。...
该专利属于欧洲等离子公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧洲等离子公司授权不得商用。

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