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加工装置制造方法及图纸
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文档序号:8074024
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本发明的加工装置具有卡盘台、加工单元、摄像单元和加工进给单元,该摄像单元包含:照相机,其拍摄被加工物;频闪光源,其向该照相机的摄像区域照射频闪光;对焦点移动部,其使该照相机的对焦点接近和远离被加工物;控制部,其一边使该对焦点移动部动作使该照...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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