下载半导体设备的在线光致发光成像的技术资料

文档序号:8049202

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种当硅太阳电池和晶片沿生产线(36)前进时用于采集硅太阳电池和晶片的光致发光图像的方法。在优选实施例中,该图像在保持样品移动的过程中被采集。在某些实施例中,光致发光通过短脉冲和高强度激发来产生,所述高强度激发例如闪光灯(50),...
该专利属于BT成像股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过BT成像股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。