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本发明提供一种处理基材的设备和方法，更具体而言，提供一种具有簇结构的基材处理设备和使用它的基材处理方法。所述的处理基材的设备包括其上放置用于收容所述基材的容器的装载口、用于处理所述基材的处理模块和转移模块，所述转移模块包括用于在所述容器和所...
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