下载一种具有不同密度层的套筒式单晶炉保温筒的技术资料

文档序号:8045112

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本发明提供一种具有不同密度层的套筒式单晶炉保温筒,所述的保温筒由至少两个直径不等的同心圆筒组成,圆筒相互套装形成保温筒整体,内层圆筒由软质炭毡经粘结剂粘接固化,整层用可溶性树脂浸渍,进行化学液相增密或采用化学气相沉积方式增密,并在内、外表面...
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