下载测试分选硅片表面温度自动整定装置的技术资料

文档序号:8038456

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本实用新型公开了一种测试分选硅片表面温度自动整定装置,烧结炉与测试装置之间设有将烧结炉下料后的硅片搬运至测试装置的搬运装置,所述搬运装置上方设有对搬运过程中的硅片进行冷却的冷却装置。本实用新型烧结炉下料后不需要等待自然降温后再测试,使得烧结...
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