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一种单晶随炉等温退火工装制造技术
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文档序号:8035127
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一种单晶随炉等温退火工装,属于单晶制备技术领域,特别是涉及一种物理气相传输法单晶生长结束后的退火工装。包括坩埚,所述坩埚顶部设散热通道,在所述散热通道上方设置一保温塞,所述保温塞或坩埚可上下移动。与带着温度梯度降温、另行退火的现有技术相比,...
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