下载一种新型的气体导流控制装置的技术资料

文档序号:8035110

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本实用新型公开了一种新型的气体导流控制装置,包括石英坩埚以及设置在石英坩埚上的盖板,所述盖板连接有石墨套管,且石墨套管的底端穿透盖板,所述石墨套管的底端连接有气体控制器。该气体导流控制装置使得氩气流向可有效控制,可有效控制气流场方向,有效地...
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