温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置，该装置的宏动平台采用气浮导轨导向，直线电机驱动，光栅尺检测位置精度；宏动平台带动微动平台；由整体金属板切割加工出框架、微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链，框架固定在宏动平台上；微动平台...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。