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本发明公开了一种制备热解氮化硼制品的气相沉积炉及方法，其中气相沉积炉由炉体和炉盖构成，其中炉体设于相变保护套内，在炉体与相变保护套之间填充有相变保温介质形成相变保温层。体由内至外依次为具有炉腔的石墨筒、加热器、保温隔热层和具有夹层的外壳，石...
该专利属于北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司授权不得商用。

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