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玻璃微粒堆叠体的制造装置制造方法及图纸
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文档序号:8018571
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本发明提供一种玻璃微粒堆叠体的制造装置,其可以在抑制异物的附着及混入的同时,稳定且高效地制造高品质的玻璃微粒堆叠体。对于玻璃微粒堆叠体的制造装置(10),其向反应容器(11)内的标靶上堆叠通过喷管(13)的火焰进行水解反应生成的玻璃微粒,在...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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