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本实用新型公开了一种多功能组合式化学气相沉积系统装置，包括主体炉，所述主体炉包括带有导轨的支架，所述支架上设有可沿导轨滑动的高温管式炉，所述高温管式炉中的炉腔内设有穿透高温管式炉炉壁设置的炉管，该炉管两端固定在支架上，所述高温管式炉一侧设有...
该专利属于合肥科晶材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥科晶材料技术有限公司授权不得商用。

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