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本实用新型提供了一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，用于将沉积槽固定于托架上，该锁紧装置包括：第一锁件；和用于贯穿沉积槽的侧壁的第二锁件，第二锁件包括用于与托架固定相连的固定端和用于外伸于沉积槽的自由端，第二锁件的自由端开设有用于夹住第一锁件...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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