下载一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备的技术资料

文档序号:8007006

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本实用新型公开了一种半导体薄膜材料的真空蒸发设备,包括真空室和蒸发器,蒸发器下方设置有主动轴和从动轴,主动轴带动基材通过蒸发器下的蒸发区,并对通过蒸发区基材进行卷取,通过蒸发区的基材只需要卷在主动轴上便可,不需要反复的打开真空室来拿出基材,...
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