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本发明涉及光刻设备，该光刻设备具有构造用于保持衬底的衬底台和能够在衬底的目标部分上生成图案的光学装置列(924、930)。光刻设备具有用于相对于衬底移动光学装置列或其一部分的致动器(928)。光学装置列或其一部分移动通过介质使得在光学装置列...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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