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公开了用于在光伏工业或半导体工业中向生产设备供应有机金属化合物的设备上所沉积的金属化合物的清洁溶剂和清洁方法。所公开的清洁溶剂和清洁方法不仅在不腐蚀该设备的情况下选择性移除所述金属化合物，而且改善了常规清洁方法。此外，所公开的清洁溶剂和清洁...
该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。

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