下载用于金属化合物的清洁溶剂和清洁方法的技术资料

文档序号:7977945

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了用于在光伏工业或半导体工业中向生产设备供应有机金属化合物的设备上所沉积的金属化合物的清洁溶剂和清洁方法。所公开的清洁溶剂和清洁方法不仅在不腐蚀该设备的情况下选择性移除所述金属化合物,而且改善了常规清洁方法。此外,所公开的清洁溶剂和清洁...
该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。