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基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅制造技术
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下载基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅的技术资料
文档序号:7974478
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本发明提供基于多模干涉器反射镜的反射式阵列波导光栅,包括输入波导、耦合器、阵列波导、反射镜和输出波导,输入波导和输出波导位于耦合器的同一侧,阵列波导位于耦合器的另一侧;所述阵列波导由多根纳米线波导组成,每一根纳米线波导的一端与耦合器相连,另...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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