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本发明涉及一种基于电热驱动的步进微转动装置，用于将电热致动器产生的往复直线运动转换为齿轮的旋转运动。所述装置由主动致动器、啮合控制致动器、齿条、齿轮构成，整个装置采用多晶硅材料，用MEMS表面硅工艺制作，无需装配。该装置将致动器的往复直线运...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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